NEWPORT   优铂特      8321-UHV     真空兼容 Picomotor™ 压电促动器   Picomotor 促动器，超高真空，0.5 英寸行程，12×0.5 mm 安装螺纹     8321-UHV超高真空Picomotor促动器提供0.5英寸（12.7毫米）的行程，可用于超高真空环境（10-9 Torr）以及VUV/EUV应用中。它是光束转向和科学真空运动控制应用的理想选择。该促动器具有优于30 nm的分辨率，最小的反冲以及出色的长期稳定性和高刚度，包括即使在断电状态下也能保持其设定位置的能力。而且，在2毫米的往返行程中经过测试的寿命超过15,000个循环，您可以放心地将它们集成到系统中。12 x 0.5毫米的螺纹可用于安装。 定位分辨率 <30 nm     我们的Picomotor促动器的步距小于每步30 nm，允许非常小的受控运动。 请注意，开环微电机的步距在步进之间以及前后方向之间变化，并且与有效载荷直接相关–因此，在操作开环微电机时，位置反馈应由外部信号提供。 对于需要绝对位置校准和高重复性的真空应...