NEWPORT 优铂特 NPM140SG-D 纳米定位压电式测微头适配器
NEWPORT 优铂特 NPM140SG-D 纳米定位压电式测微头适配器 测微计适配器,压电式,140 µm,应变计,XPS NPM140SG-D压电千分尺适配器为手动产品提供纳米定位功能。该适配器安装在位移台的促动器座上,与所有Newport平台和调整架机械兼容,并具有0.375英寸(9.5毫米)直径的安装法兰。粗调是通过手动螺丝进行的。通过控制NPM140的压电电压可以完成最终的微调。复杂的线切割挠曲系统可提供140um的超长行程范围,该系统还可以用作促动器尖端的线性导轨。NPM140SG可以在开环或闭环模式下运行。开环模式下的分辨率在亚纳米范围内。NPM140SG具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的闭环运动。此外,位置反馈补偿了压电堆栈的蠕变。为了获得最高的位置稳定性和最高的温度不敏感性,该传感器采用完整的惠斯通电桥设计进行组装。由于该千分尺适配器将手动螺钉从正常位置退回22毫米,因此建议使用长度超过22毫米的千分尺或螺钉,以利用手动平台...
分类:
货号:
NPM140SG-D
描述
NEWPORT 优铂特 NPM140SG-D 纳米定位压电式测微头适配器
测微计适配器,压电式,140 µm,应变计,XPS
NPM140SG-D压电千分尺适配器为手动产品提供纳米定位功能。该适配器安装在位移台的促动器座上,与所有Newport平台和调整架机械兼容,并具有0.375英寸(9.5毫米)直径的安装法兰。粗调是通过手动螺丝进行的。通过控制NPM140的压电电压可以完成最终的微调。复杂的线切割挠曲系统可提供140um的超长行程范围,该系统还可以用作促动器尖端的线性导轨。NPM140SG可以在开环或闭环模式下运行。开环模式下的分辨率在亚纳米范围内。NPM140SG具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的闭环运动。此外,位置反馈补偿了压电堆栈的蠕变。为了获得最高的位置稳定性和最高的温度不敏感性,该传感器采用完整的惠斯通电桥设计进行组装。由于该千分尺适配器将手动螺钉从正常位置退回22毫米,因此建议使用长度超过22毫米的千分尺或螺钉,以利用手动平台或调整架的全部行程。
带有伴随智能EPROM的Dsub25连接器。与XPS Motion控制器一起使用,需要XPS-DRVP1驱动程序模块。
带有伴随智能EPROM的Dsub25连接器。与XPS Motion控制器一起使用,需要XPS-DRVP1驱动程序模块。
参数
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行程范围140 µm
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轴向负载100 N
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轴向刚度0.4 N/µm
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电容1.7
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共振频率670.0
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闭环重复精度35 nm
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闭环分辨率1 nm
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开环分辨率0.1 nm
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闭环行程范围90 µm
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电缆长度1.2 m
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重量0.125 kg
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