NEWPORT   优铂特   RGA150MAP    薄型大孔径直驱旋转平台   电动旋转位移台，高速，薄款设计     RGA150MAP 薄型、大孔径和高精度旋转平台满足快速调整晶圆和真空吸盘角度的需求。 尽管 RGA150MAP 专为半导体应用量身定制，但也可用于其他工业应用，例如通孔成像/检测或激光加工、自动化或任何需要快速定位的通用定位应用。 这是 RGA150 的映射版本，可实现 ±1mdeg 精度。   参数   角度范围 360°   最大速度 1800°/s   最小位移增量 0.01 mdeg   峰值驱动扭矩 11 Nm   中心负载能力 50 N   双向重复精度，典型值 ±0.0975 mdeg   精度，保证值 ±1 mdeg   摆动，典型值 ±12 µrad   摆动，保证值 ±26 µrad   偏心率，典型值 ±0.5 µm   偏心率，保证值 ±1 µm   MTBF 20,000 hours @ 30 % duty cycle   电缆长度 5 m   ...