NEWPORT   优铂特   XMS50V    超高精度直接驱动垂直线性平移台   电动垂直位移台，超精密线性电机，50 mm，100N   XMS50V位移台包括安装在高平坦度（表面平坦度在5 µm以内）或支架上的标准XMS50位移台以及与滑架相连的低摩擦气缸。气缸与滑架的定制设计连接消除了气缸运动对XMS50位移台性能的影响。通过适当调节压力，可以实现负载的完美平衡。关闭电动机电源后，气缸的气门将使滑架受控下降，也可提供更紧凑但特定负载的磁性配重。请与内部销售支持团队联系，以讨论应用程序要求并获得最适合您需求的解决方案报价     参数   行程范围 50 mm     最小位移增量 0.05 µm   最大速度 300 mm/s   中心负载能力 100 N   精度，保证值 ± 0.75 µm   双向重复精度，保证值 ± 0.05 µm   限位开关 Optical, fiducial on encoder   原点 Optical, at center of travel, including mechanical zero sig...