NEWPORT   优铂特   ZVR-PP   ZVR集成步进电机垂直和旋转位移台   晶片定位位移台，集成垂直和步进电机旋转台     Newport的新型ZVR-PP是集成的Z垂直和Theta旋转定位台，设计用于精确地提升和旋转200毫米和/或300毫米直径的晶片卡盘。ZVR-PP在超薄的轮廓设计中提供了精确的10毫米垂直和连续360度角度行进。ZVR-PP的低质量和高固有频率，为快速步进和停留应用提供了平台。通过单点访问集成的真空和电线，以及三点安装接口，ZVR-PP为晶片定位等应用提供了方便、稳定和高性能的能力。有关ZVR-PP的完整规格，请参考数据表。有关ZVR-PP旋转和垂直运动能力的完整规格，请参考数据表。     参数     行程范围 10 mm   角度范围 360°   最大速度 40°/s   最大线速度 10 mm/s     最小位移增量 0.2 mdeg   最小位移增量，线性 0.05 µm     最大扭矩 1 N·m   中心负载能力 100 N  ...